飞秒激光细腻微加工装备
本装备激光细密微细加工系统主要用于薄片金属切割、钻孔微纳群孔制作,州材质的钻孔、切割及划线加工。
■ 装备参数:
装备型号 | LMS10 |
激光种类 | 红外飞秒激光器/紫外飞秒激光器 |
加工平台 | 定制 |
运动系统 | 定制4轴/5轴 |
重复精度 | ±1 arc-sec |
定位精度 | ±3 arc-sec |
分辨率 | 0.01arc-sec |
■ 装备优势:
◆ 该平台搭载超短脉冲飞秒激光器、高精度五轴平台,配备高性能外围设置,可实现州材质三维零件各外貌举行的钻孔、切割、划线、标志及蚀刻等多种加工方式。
■ 应用领域:
◆ 可用于薄片金属激光微纳群孔制作,消耗电子类导光板模研究,触摸屏版激光刻蚀,天线制作,激光打标,PET薄膜或玻璃基底上的银浆导电膜剥离,ITO、纳米银蚀刻,薄陶瓷、玻璃、硅片、碳化硅、金属的高细亲近割、打孔等。
■ 加工效果示例图:
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